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从脉冲 I-V 到 Segment Arb:解锁 4200A-SCS 高速半导体测试能力
作者:泰克科技    来源:泰克科技    发布日期:2026-8-17 8:45:08   点击次数:10

  高速IV脉冲和测量是某些半导体应用(如功率器件测试或减少直流测量引起的自热效应)的常见需求。4200A-SCS参数分析仪的双通道4225-PMU超快I-V模块(PMU)支持多种高速源/测量应用。PMU有三种超快IV源和测量模式:脉冲IV、波形捕获和Segment Arb波形。这三种模式如图1所示。

 

脉冲IV是一种脉冲源和相应的高速、基于时间的测量,提供类似直流的结果。每个脉冲在预定义的“点均值”窗口中读取平均值。波形捕获模式输出高速电压脉冲,并在时域中测量电流和电压响应。Segment Arb功能可用于在可靠性循环中使用交流信号对器件进行压力测试,或在多电平波形模式下编程/擦除存储器器件。这种脉冲源涉及使用内置的Segment Arb波形功能输出用户定义的两电平或多电平脉冲。4200A-SCS Clarius软件支持多达8通道的Segment Arb波形。

从Clarius V1.14开始,Clarius测试库包含PMU Segment Arb波形测试,支持多达8通道的多电平脉冲。除了Segment Arb测试外,该库还包括许多PMU应用的测试,如 MOSFET、二极管和存储器器件的脉冲IV和波形捕获测量。从Clarius V1.13开始,PMU测量可以通过命令和外部计算机远程控制。

本应用说明介绍了PMU的Segment Arb波形功能,以及如何使用内置库测试进行高速、时间控制的脉冲应用。

Segment Arb波形

Clarius软件中的Segment Arb波形功能是一种线段波形生成器,可用于4225-PMU或4220-PGU脉冲生成单元(无测量功能)。通过输入表格值,可以配置PMU的每个通道输出由用户定义的线段组成的波形,最多支持2048个线段。每个线段可单独设置时间间隔、起始和停止电压值、起始和停止测量窗口值、输出触发和输出继电器状态 ( 打开或关闭 )。每个线段支持点均值和采样模式测量。Segment Arb™波形功能的具体细节见附录A中的表格。

图2展示了一个PMU Segment Arb波形的示例。该序列包含9个线段,生成一个+35V脉冲持续1e-3秒,然后是一个-35V脉冲持续1e-3秒。上升和下降时间为10e-6秒。(注:时间轴未按比例绘制。)每个线段的起始电压、停止电压和时间如下:

起始电压 (V):0, 0, 35, 35, 0, 0, -35, -35, 0

停止电压 (V):0, 35, 35, 0, 0, -35, -35, 0, 0

线段时间 (s):10e-6, 10e-6, 1e-3, 10e-6, 1e-3, 10e-6, 1e-3, 10e-6, 10e-6

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